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| 单晶炉 |
| 用途： |
 DRF系列单晶炉属软轴提拉式单晶炉，它是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将半导体材料加热并熔化，然后用直拉法生长无位错的单晶设备。该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的硅单晶。该设备可使用18〞、20〞、22〞、24〞的热系统，投料65-150kg，拉制6〞-8.5〞的单晶. |
| 主要技术参数： |
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DRF-85 |
DRF-95 |
| 拉制晶体最大直径 |
Ф8.5″(Ф215mm) |
Ф8.5″(Ф215mm) |
| 最大熔料量 |
65Kg (18″坩埚)
85Kg (20″坩埚) |
120Kg (22″坩埚)
150Kg (24″坩埚,需使用固化碳毡) |
| 主炉室内径 |
850mm |
950mm |
| 加热方式 |
石墨电阻加热 |
石墨电阻加热 |
| 籽晶拉速 |
0.2-8mm/min |
0.2-8mm/min |
| 籽晶转速 |
0-30rpm |
0-30rpm |
| 坩埚升速 |
0.02-1mm/min |
0.02-1mm/min |
| 冷炉极限真空度 |
< 3pa |
< 3pa |
| 主变压器容量 |
190KVA |
220KVA |
| 外形尺寸(长×宽×高) |
5500×3500×6280mm |
5700×3700×7000mm |
| 质量 |
7600Kg |
8000Kg |
| 选装件 |
全自动/CCD控制系统，底部加热电极 |
全自动/CCD控制系统，底部加热电极 | | |
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